强集成电路之基 创科技自立之“芯”
10月23日,2023年度上海市科学时刻奖励大会在上海展览中心举行,魁伟犒赏为国度、为上海科技功绩和当代化配置作出杰出孝顺的科技责任者。万业企业(600641.SH)旗下上海凯世通半导体股份有限公司(以下简称“凯世通”)斟酌重心欺骗企业共同完成的“离子注入机时刻与欺骗产业化”技俩荣获上海市科技进步奖一等奖。凯世通副总司理、首席时刻官夏世伟先生看成技俩第一完成东谈主出席大会并登台领奖。
上海市科学时刻奖由上海市东谈主民政府融合缔造,是上海市深刻扩充科教兴国战术、东谈主才强国战术、调动运转发展战术,工作高水平科技自立自立,加大对科学划定的第一发现者、时刻发明的第一创造者、调动产业的第一开拓者、调动理念的第一推行者的奖励。
凯世通秉执自主调动的研发理念,致力于齐备离子注入机关节时刻自主可控。这次获奖技俩所研发的稚子大束流离子注入机系列开导是制造逻辑芯片、DRAM存储芯片、功率器件、CIS芯片的中枢开导,开导性能与踏实性进展超卓,齐备了集成电路关键装备产业化冲破。
针对离子注入骨子出产经由中亟需冲破的关节工程时刻问题,凯世通调动构建了包括基础规划和欺骗时刻在内的“通用平台+关节时刻模块+系统集成+欺骗时刻”完好时刻体系,形成了一系列高价值的自主常识产权后果,包括告捷处分了芯片制造中稚子量条款下的超大剂量注入问题,裁减了制变资本;完成了颗粒混浊起源摈弃时刻,大幅提高了良率,得到蹙迫工艺冲破等。当今凯世通已打造出多款离子注入机标杆技俩,在国内主流12英寸晶圆厂齐备了产业化并获利了批量重叠订单。跟着产业化程度加速,凯世通执续进步产能,增强工作客户才气。
东谈主才是引颈发展的第一资源,调动是激动科技进步的束缚能源。凯世通打造了一支身手深通、敢于调动的时刻研发团队,聘请“登程点一步”的研发策略,陆续攻坚克难,激动时刻调动与家具迭代。夏世伟默示,这次获奖是凯世通研发团队贫寒付出、执续拼搏的收尾,凯世通坚执正向盘算推算、调动冲破,雅致联接寰球前沿科技与产业需求,执续调动激动离子注入机原创性、引颈性科技攻关,陆续强化时刻上风,执续为客户提供性能超卓、踏实可靠、降本增效的先进开导和工艺处分决策,悉力工作国度集成电路产业高质料发展。
志存高远、金石可镂!面向昔时,凯世通将连接秉执锐意寥落、勇登攀峰的寥落心,鼎力栽培发展新质出产力,执续深化时刻调动与产业升级,助力上海科技调动中心配置,陆续为齐备高水平科技自立自立作念出更大孝顺。